簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "電機工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="光學鄰近修正(OPC)"


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    基於深度學習架構之光學鄰近修正與次級解析輔助特徵圖案擺置
    • 電機工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 余柏毅   指導教授： 方劭云
    • 隨著現代積體電路的複雜度不斷增加與製程節點的演進，電路可製造性在現代微影(Lithography)製程中正遭遇許多困難。次級解析輔助特徵圖案(SRAF) 擺置與光學鄰近修正(OPC)等重要的解析度增…
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